国光微纳平台反应离子刻蚀机操作方法

1、打开总电源，打开循环水，打开所用工艺气体。按下放气按钮，打开盖子，将刻蚀样品放到托盘中央，盖严盖子。

5、选择反应模式，有磁增强“MERIE”和普通“RIE”两个模式。设定刻蚀时间，定时开关拨至定时模式，设置好工作时间（分秒），也可以选择不计时。选择量程，同时按下按钮“启动”和按钮“ON”，观察功率计，调节功率，调节匹配电容C1和C2匹配电容使得反射功率最低。